Gaz de cavité - Composition des gaz de cavité
Les lasers à gaz ont, par définition, besoin de gaz pour pouvoir générer leur faisceau lumineux. Le mélange de gaz requis pour faire fonctionner un laser au CO2 contient de 60 à 85 % d'hélium, de 13 à 55 % d'azote et de 1 à 9 % de dioxyde de carbone. La composition exacte varie en fonction du type de laser et du fabricant. Certains types de laser exigent également l'ajout de petites quantités d'autres gaz, tels que de l'oxygène, de l'hydrogène ou d’autres. Le mélange de gaz utilisé avec les lasers TEA, d'un autre côté, contient souvent un faible pourcentage de CO, or l'oxyde de carbone est toxique et agressif, ce qui oblige à utiliser des dispositifs de sécurité supplémentaires à l'intérieur du système de distribution de gaz.
Le gaz nécessaire pour un laser Excimer se compose de 0,05 à 0,3 % d'halogène (chlorure d'hydrogène ou fluor), de 1 à 10 % de gaz rare (krypton, xénon ou argon) et de 90 à 99 % de gaz tampon (hélium ou néon). En effet, pour des questions de sécurité, l'halogène est toujours dilué dans de l'hélium ou du néon.